ウェハ上の金属およびレジストの除去に使用されます。ナノレベルの高圧霧化ノズルが薬液を微細化し、レジストと迅速に反応させることが可能です。回転洗浄するだけで金属とレジストを除去でき、レジストが溶解すると浮遊粒子となり、遠心力によってウェハから浮遊した金属やレジストが取り除かれます。

独自の特許ノズルは、プロセスやニーズに応じて洗浄対象エリアに対し集中的に洗浄を行うことが可能です。