237003 新北市三峡区添福路14之42号
Functional Equipment
功能配备
清洗槽/供液系统
托盘识别与传输
安全检测
标配:
摆臂移动轴三轴可编程控制
喷头角度可编程调整
喷头单排4个
过滤系统
温控系统
DIW / 药液自动补液系统
DIW / 药液不足警示
CO₂ 起泡器
选配:
喷头排数可增加(以排为单位)
药液混合系统
药液回收系统
药液加热系统
槽位任意组合
DIW / 药液回收循环系统
标配:
手动上料
2D 条码读取
RFID 读取
EFEM
选配:
标配:
Class 100
SEMI 认证
各项异常检测
门体感应器
漏液检测
选配:
最高支持至 Class 2
消防系统