助焊剂清洗机 Wafer Form

适用于先进封装晶圆制程清洗。随着科技日新月异,芯片越来越大,缝隙也越来越小,我们采用纳米雾化喷头搭配矩阵清洗方式,可针对不同产品的间距进行高压/雾化清洗,并可根据制程需求强化特定区域的清洁能。

Functional Equipment

功能配备

清洗槽/供液系统

晶圆识别传输

安全检测

标配:
摆臂移动轴三轴可编程控制
喷头角度可调
单排喷头4个
过滤系统
温控系统
DIW/药液自动补液系统
DIW/药液不足警示
CO2起泡器

选配:
药液回收系统
槽数可自由组合
DIW回收循环系统

标配:
手动上料







选配:
缺片检测
2D条码读取
EFEM(前端模组)

标配:
Class 100
SEMI认证
门体感应器
漏液检测
洁净等级



选配:
最高支持至 Class 2
消防系统

Experimental Results

实验结果