237003 新北市三峡区添福路14之42号
Functional Equipment
功能配备
清洗槽/供液系统
晶圆识别传输
安全检测
标配:
摆臂移动轴三轴可编程控制
喷头角度可调
单排喷头4个
过滤系统
温控系统
DIW/药液自动补液系统
DIW/药液不足警示
CO2起泡器
选配:
药液回收系统
槽数可自由组合
DIW回收循环系统
标配:
手动上料
选配:
缺片检测
2D条码读取
EFEM(前端模组)
标配:
Class 100
SEMI认证
门体感应器
漏液检测
洁净等级
选配:
最高支持至 Class 2
消防系统