适用于各类载具清洗，使用DIW全程操作。高压喷头结合软件可实现定向清洗，喷头角度与方向可调，针对特定需求区域强化清洗，有效去除残留光刻胶与残胶。
标配： 开盖功能 静电风扇 安全检测功能 E84 通讯 RFID 读取 SECS/GEM 协议 DIW 加热系统 DIW 清洗 / 干燥 N₂ 氮气吹扫功能 晶圆定位（Wafer Mapping）
