2.5Dおよび3Dパッケージング工程に対応し、フラックス洗浄に使用されます。全工程でDIW（純水）を使用可能で、ノズルのXYZ軸やボート底板の傾斜角はプロセス要件に応じて調整可能。微細な隙間を正確に洗浄でき、生産性を向上させ、自動洗浄の設定も可能です。