切断や研磨など、静電気が発生しやすいプロセスに対応可能です。装置にはCO₂バブラーを搭載しており、CO₂イオンが静電気を効果的に中和し、製品への影響を低減します。

佳宸のCO₂バブラーは、専門チームによって独自に開発・設計・製造されたものであり、S-PIDによるインテリジェントな精密制御を採用しています。流量の変化をリアルタイムで監視し、プログラムが変化に応じてCO₂を微調整することで、濃度を±0.02MΩの範囲内で安定的に維持します。