各種キャリアの洗浄に対応し、全工程でDIW（超純水）を使用します。高圧ノズルはソフトウェアと連動して指向性洗浄を実現し、ノズルの角度や方向を調整することで、必要な箇所に対して集中的に洗浄が可能です。残留したレジストや接着剤の除去にも高い効果を発揮します。