湿式エッチング工程に対応し、ウエハー上の不要な薄膜を除去します。ナノレベルのミストノズルに、当社独自の特許取得済みの公転・自転技術を組み合わせることで、薬液の反応を加速し、薬液の方向制御を実現。薬液使用量の削減、エッチングの均一性とスループットの向上、サイドエッチングの抑制に効果的です。お客様のプロセス要件に応じて、複数の薬液ノズルや供給 / 混酸システムのカスタマイズが可能です。