ウエハー上の金属およびレジストの除去に使用されます。ナノレベルの高圧霧化ノズルにより薬液を微粒子化し、レジストと迅速に反応します。回転洗浄のみで金属およびレジストの除去が可能です。レジストが溶解すると浮遊粒子となり、遠心力によってウエハー表面から効率的に除去されます。

さらに、独自開発の特許ノズルは、異なるニーズやプロセスに応じて、ターゲット洗浄エリアへの噴射強度を柔軟に調整することができ、最適な洗浄効果を実現します。