플럭스 세정 장비 Die Form

2.5D 및 3D 패키징 공정에 적용 가능하며, 플럭스 세정에 사용됩니다. 전체 공정에 걸쳐 DIW(초순수)를 사용할 수 있으며, 노즐의 XYZ 축과 보트 하단 플레이트의 경사 각도를 공정 요구에 따라 조정할 수 있습니다. 이를 통해 좁은 틈새까지 정밀하게 세정이 가능하며, 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 전자동 세정 설정도 지원됩니다.

기능 사양

세정 탱크 / 약액 공급 시스템

보트 식별 및 이송 시스템

안전 감지

기본 사양:
암 이동축 3축 프로그램 제어 가능
노즐 각도 프로그램 제어 조절 가능
노즐 단열 4개 장착
필터 시스템
온도 제어 시스템
DIW / 약액 자동 보충 시스템
DIW / 약액 부족 경고
CO₂ 버블러

선택 사양:
노즐 열 수 증설 가능 (열 단위 기준)
약액 혼합 시스템
약액 회수 시스템
약액 가열 시스템
탱크 수 자유 구성 가능
DIW / 약액 회수 순환 시스템

기본 사양:
수동 로딩
2D 바코드 리더기
RFID 리더기
EFEM




선택 사양:

기본 사양:
Class 100
SEMI 인증
각종 이상 감지
도어 감지 센서
누액 감지



선택 사양:
최고 Class 2까지 지원
소방 시스템

실험 결과