각종 캐리어 세정에 적용 가능하며, 전 공정 DIW(초순수)만을 사용합니다. 고압 노즐은 소프트웨어와 연동되어 지향성 세정을 구현할 수 있으며, 노즐의 각도와 방향을 조절하여 특정 영역에 대해 세정력을 강화할 수 있습니다. 이를 통해 잔류 포토레지스트 및 잔사 제거에 탁월한 효과를 발휘합니다.
기본 사양: 커버 개폐 기능 정전기 제거 팬 안전 감지 기능 E84 통신 RFID 리더기 SECS/GEM 인터페이스 DIW 가열 시스템 DIW 세정/건조 N₂ 퍼지 기능(N₂ purge) 웨이퍼 매핑(Wafer Mapping)