각종 캐리어 세정에 적용 가능하며, 전 공정 DIW(초순수)만을 사용합니다. 고압 노즐은 소프트웨어와 연동되어 지향성 세정을 구현할 수 있으며, 노즐의 각도와 방향을 조절하여 특정 영역에 대해 세정력을 강화할 수 있습니다. 이를 통해 잔류 포토레지스트 및 잔사 제거에 탁월한 효과를 발휘합니다.