237003 新北市三峽區添福14之42號
Functional Equipment
功能配備
清洗槽/供液系統
晶圓識別傳輸
安全檢測
標配:
擺臂移動軸3軸可程控
噴頭角度可調整
噴頭單排4顆
過濾系統
控溫系統
DIW/藥液自動補液系統
DIW/藥液不足警示
CO₂ Bubbler
選配:
藥液回收系統
任意搭配槽數
DIW回收循環系統
標配:
手動放料
選配:
缺片檢測
2D Barcode 讀取
EFEM
標配:
Class 100
SEMI認證
門檢感應器
漏液檢知
潔淨等級
選配:
最高至Class 2
消防系統