適用於切割、研磨等易產生靜電的製程。設備搭配CO2 Bubbler，CO2 離子可有效中和靜電，減少靜電對產品的影響。佳宸CO2 Bubbler，由專業團隊自主開發設計製造，採S-PID智能精密程控，全時段監控流量變化，程式會因應變化對CO2 做微調，使其維持穩定濃度±0.02MΩ。