助焊劑清洗機 Wafer Form

適用於先進封裝晶圓製程清洗。隨科技日新月異,晶片越來越大,隙縫也越來越小,芯鈦採用奈米霧化噴頭搭配矩陣清洗方式,可針對不同產品,針對間距做高壓/霧化清洗,亦可依製程需求加強區塊清潔能力。

Functional Equipment

功能配備

清洗槽/供液系統

標配:
轉速 Max: 3000rpm
製程藥液:有機/酸/鹼
噴頭角度可手動調整
擺臂移動軸X軸可程控
藥液自動補液系統
原液不足警示
過濾系統
水阻計

選配:
濾心更換檢知系統
超聲波浸泡系統
藥液回收系統
控溫系統
CO Bubbler

晶圓識別傳輸

標配:
晶圓厚度 200-750μm
晶圓翹曲 ±0.5mm
晶圓中心定位器
手動上下料
Barcode 讀取
RFID 讀取
EFEM

選配:
濾心更換檢知系統
超聲波浸泡系統
藥液回收系統
控溫系統
CO Bubbler

安全檢測

標配:
Class 100
SEMI 認證
門檢磁簧開關
漏液檢知
淨室等級



選配:
最高至 Class 2
危害氣體感應器
Co2 消防系統
SECS/GEM

Experimental Results

實驗結果