載具清洗機

適用於各式載具清洗,全程使用DIW,高壓噴頭搭配軟體可實現指向式清洗,調整噴頭角度、方向,針對需求部分加強清洗,能有效去除殘留光阻及殘膠。

另有各式載具如:Magazine、 Boat/jig、Frame,Tray、Cassette、Frame Cassette、Tray Cassette

Functional Equipment

功能配備

標配:
開蓋功能
靜電風扇
安全檢知功能
E84通訊
RFID 讀取
SECS/GEM
DIW加熱系統
DIW清洗/乾燥
N2 purge功能
Wafer Mapping

Experimental Results

實驗結果