適用於各式載具清洗,全程使用DIW,高壓噴頭搭配軟體可實現指向式清洗,調整噴頭角度、方向,針對需求部分加強清洗,能有效去除殘留光阻及殘膠。
另有各式載具如:Magazine、 Boat/jig、Frame,Tray、Cassette、Frame Cassette、Tray Cassette
標配: 開蓋功能 靜電風扇 安全檢知功能 E84通訊 RFID 讀取 SECS/GEM DIW加熱系統 DIW清洗/乾燥 N2 purge功能 Wafer Mapping