適用於各式載具清洗，全程使用DIW，高壓噴頭搭配軟體可實現指向式清洗，調整噴頭角度、方向，針對需求部分加強清洗，能有效去除殘留光阻及殘膠。
標配： 開蓋功能 靜電風扇 安全檢知功能 E84通訊 RFID 讀取 SECS/GEM DIW加熱系統 DIW清洗/乾燥 N2 purge功能 Wafer Mapping
