助焊剂清洗机 Wafer Form

设备简介

适用于晶圆制程清洗。随科技日新月异,晶片越来越小,隙缝也越来越小,佳宸采用奈米雾化喷头搭配矩阵清洗方式,可针对不同产品,针对间距做高压/雾化清洗,亦可依制程需求加强区块清洁能力。

设备特点

功能配备

实验结果