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助焊剂清洗机 Wafer Form
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设备简介
适用于晶圆制程清洗。随科技日新月异,晶片越来越小,隙缝也越来越小,佳宸采用奈米雾化喷头搭配矩阵清洗方式,可针对不同产品,针对间距做高压/雾化清洗,亦可依制程需求加强区块清洁能力。
设备特点
功能配备
实验结果
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