设备简介
适用于各式载具清洗,全程使用DIW,高压喷头搭配软体可以实现指向式清洗,调整喷头角度、方向,针对需求部分加强清洗,能有效去除残留光阻及残胶。
另有各式载具如:Magazine、 Boat/jig、Frame,Tray、Cassette Frame Cassette、Tray Cassette
设备特點
功能配备
实验结果