设备简介
适用于切割、研磨等易产生静电的制程。设备搭配CO2Bubbler，CO2离子可有效中和静电，减少静电对产品的影响。佳宸CO2 Bubbler，由专业团队自主开发设计制造，采S-PID智能精密程控，全时段监控流量变化，程式会因应变化对CO2做微调，使其维持稳定浓度±0.02MΩ。
