設備簡介
適用於各式載具清洗,全程使用DIW,高壓噴頭搭配軟體可以實現指向式清洗,調整噴頭角度、方向,針對需求部分加強清洗,能有效去除殘留光阻及殘膠。
另有各式載具如:Magazine、 Boat/jig、Frame,Tray、Cassette Frame Cassette、Tray Cassette
設備特點
功能配備
實驗結果