첨단 패키징 웨이퍼 공정의 세정에 적합합니다. 기술이 빠르게 발전함에 따라 칩은 점점 더 커지고, 간격은 더 좁아지고 있습니다. 당사는 나노 미스트 노즐과 매트릭스 세정 방식을 적용하여 다양한 제품에 대응할 수 있으며, 미세 간격에 대해 고압/미스트 세정을 수행할 수 있습니다. 또한 공정 요구에 따라 특정 영역의 세정 능력을 강화할 수 있습니다.
기본 사양: 암 이동축 3축 프로그램 제어 가능 노즐 각도 조절 가능 노즐 단열 4개 장착 필터 시스템 온도 제어 시스템 DIW/약액 자동 보충 시스템 DIW/약액 부족 경고 CO₂ 버블러
선택 사양: 약액 회수 시스템 탱크 수 자유 구성 가능 DIW 회수 순환 시스템
기본 사양: 수동 로딩
선택 사양: 누락 칩 검사 2D 바코드 리더기 EFEM
기본 사양: Class 100 SEMI 인증 도어 감지 센서 누액 감지 클린 등급
선택 사양: 최고 Class 2까지 지원 소방 시스템