適用於2.5D及3D封裝製程,用於清洗助焊劑。可全程使用DIW,噴頭XYZ軸、Boat盤底板皆可依製程需求調整傾角,能精準針對縫隙清洗,提高產能,可設定全自動化清洗。
标配: 摆臂移动轴三轴可编程控制 喷头角度可编程调整 喷头单排4个 过滤系统 温控系统 DIW / 药液自动补液系统 DIW / 药液不足警示 CO₂ 起泡器
选配: 喷头排数可增加(以排为单位) 药液混合系统 药液回收系统 药液加热系统 槽位任意组合 DIW / 药液回收循环系统
标配: 手动上料 2D 条码读取 RFID 读取 EFEM
选配:
标配: Class 100 SEMI 认证 各项异常检测 门体感应器 漏液检测
选配: 最高支持至 Class 2 消防系统