2.5D 및 3D 패키징 공정에 적용 가능하며, 플럭스 세정에 사용됩니다. 전체 공정에 걸쳐 DIW(초순수)를 사용할 수 있으며, 노즐의 XYZ 축과 보트 하단 플레이트의 경사 각도를 공정 요구에 따라 조정할 수 있습니다. 이를 통해 좁은 틈새까지 정밀하게 세정이 가능하며, 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 전자동 세정 설정도 지원됩니다.
기본 사양: 암 이동축 3축 프로그램 제어 가능 노즐 각도 프로그램 제어 조절 가능 노즐 단열 4개 장착 필터 시스템 온도 제어 시스템 DIW / 약액 자동 보충 시스템 DIW / 약액 부족 경고 CO₂ 버블러
선택 사양: 노즐 열 수 증설 가능 (열 단위 기준) 약액 혼합 시스템 약액 회수 시스템 약액 가열 시스템 탱크 수 자유 구성 가능 DIW / 약액 회수 순환 시스템
기본 사양: 수동 로딩 2D 바코드 리더기 RFID 리더기 EFEM
선택 사양:
기본 사양: Class 100 SEMI 인증 각종 이상 감지 도어 감지 센서 누액 감지
선택 사양: 최고 Class 2까지 지원 소방 시스템