適用於2.5D及3D封裝製程,用於清洗助焊劑。可全程使用DIW,噴頭XYZ軸、Boat盤底板皆可依製程需求調整傾角,能精準針對縫隙清洗,提高產能,可設定全自動化清洗。
標配: 擺臂移動軸3軸可程控 噴頭角度可程控調整 噴頭單排4顆 過濾系統 控溫系統 DIW / 藥液自動補液系統 DIW / 藥液不足警示 CO₂ Bubbler
選配: 噴頭排數可增加(以排為單位) 藥液混液系統 藥液回收系統 藥液加熱系統 任意搭配槽數 DIW / 藥液回收循環系統
標配: 手動放料 2D Barcode 讀取 RFID 讀取 EFEM
選配:
標配: Class 100 SEMI 認證 各項異常檢知 門檢感應器 漏液檢知
選配: 最高至Class 2 消防系統